超聲波清洗源于二十世紀六十年代，超聲波清洗技術經過幾十年的發展和改進，不斷產生一些新技術，下面就對超聲波清洗器應用的一些新的發展方向作簡單闡述。

 

1.高頻超聲清洗

    對于象硅片表面小至零點幾微米的超微污物粒子，常規的超聲波清洗器無能為力，即使增加功率密度也無濟于事。近年來發展了一種兆赫茲級的高頻超聲清洗技術，由于頻率高，空化效應已不起作用，因此清洗的關鍵不是氣泡，是高頻壓力波的擦洗作用，其對污物的去除率接近百分之百。高頻清洗進來發展較快，主要用于超大規模集成電路芯片上的污物清洗，以及硅晶片、陶瓷、光掩模等特種污物的清洗。

 

2.聚焦式清洗

     對于象紡織行業的噴絲板、過濾器之類微孔物件的清洗，常規的超聲清洗效果十分不理想，聲強達不到要求，而采用機械掃描聚焦式超聲清洗，噴絲板微孔中的污物脫離十分明顯。聚焦式清洗要求達到高的聲強，目前選用的頻率以低頻為主，常用20kHz和15kHz兩種頻率，個別的頻率也有28kHz的，其電功率在連續波情況下一般為500～700W，間隙脈沖工作狀態下，功率可高一些。

 

3.多頻清洗

即在一只清洗缸中，安裝有兩種或三種以上不同頻率的換能器，由多只發生器分別推動各自頻率的換能器。我們知道，清洗工作頻率高時，在液體中空化強度低而空化密度大，而工作頻率低時則相反。低頻超聲波的強度高，對物體表面清洗有利；高頻超聲波空化密度高，沖擊波能穿達凹槽、細縫、深孔等細微結構。同時缸中有多種頻率的超聲波，也克服了單頻清洗駐波場造成的清洗不均勻問題。

 

4.掃頻和跳頻的清洗

掃頻和跳頻清洗都是為了改善缸中的聲場結構，前者解決了缸中的不均勻駐波場，使清洗均勻。而跳頻和多頻一樣兼顧到高低頻清洗，不同的是跳頻用的是一只換能器和一只發生器，其換能器本身有兩個諧振頻率，在第一諧振點帶寬內作連續的頻率變化，然后跳到另一帶寬內進行掃頻清洗。它是高低頻交替進行清洗。

隨著科技的不斷進步和超聲波清洗機技術的進一步成熟，還會有更多新型的清洗工藝產生。超聲波清洗將會有著更加輝煌的明天。